Metoda de prelucrare cu o precizie de prelucrare de până la 1 μ M. Prelucrarea cu precizie se realizează folosind mașini-unelte de precizie, instrumente de măsurare și contoare sub un control strict al condițiilor de mediu. Se numește prelucrare ultra precizie atunci când precizia prelucrării atinge sau depășește 0,1 μM.

Efectul tehnologic al prelucrării cu precizie este următorul:

Precizia formei geometrice și a poziției reciproce a pieselor poate atinge micron sau secundar unghiular;

Toleranța limită sau dimensiune a caracteristicii piesei este sub micrometru;

Micro-denivelarea suprafeței (diferența medie de înălțime a denivelărilor suprafeței) a pieselor este mai mică de 0,1 μm;

Fitingurile reciproce pot îndeplini cerințele de îmbinare a forței;

Unele părți pot îndeplini, de asemenea, cerințele proprietăților fizice sau mecanice precise;